V60,瓶閥
產(chǎn)品說(shuō)明
超高純凈膜片式瓶閥是針對半導體行業(yè)共同研究開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品。捷銳從英國引進(jìn)該項技術(shù),為中國半導體行業(yè)提供了一項全新的產(chǎn)品,填補了目前市場(chǎng)的空白
。
特性
有手動(dòng)和氣動(dòng)兩種閥,二者基于同一母體設計。
適用于大多數特種氣體,包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體如氯氣和氯化氫等。
在符合超高純標準的潔凈廠(chǎng)房?jì)壬a(chǎn)制造,最終的裝配和測試是在10級無(wú)塵室中進(jìn)行。
針對有低泄漏率要求的高純氣體用戶(hù)設計。
每個(gè)閥門(mén)都采用氦氣質(zhì)譜儀檢測泄漏率。
膜片直接作用于閥座關(guān)閉閥門(mén),光滑過(guò)渡的膜片設計可以將氣體流道死角減至最小。
閥座的特殊支撐和緊固設計,可以將高壓負載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的提升量減至最小。
膜片為一體式無(wú)焊接結構,有效隔離了氣體和機械運動(dòng)部件,提高了使用壽命。
為防止脫落的顆粒物污染,在氣體流道中不存在任何滑動(dòng),旋轉或摩擦部件。
進(jìn)氣口呈喇叭型,增強氣體流通,便于清潔和吹掃凈化。
進(jìn)出口端形式適合所有已知的行業(yè)標準;閥門(mén)也同樣適用于市場(chǎng)上各種流體。
手輪可用金屬絲鎖定。
執行器能夠被鎖定在關(guān)閉位置,以防止運輸過(guò)程中的震動(dòng),導致泄漏。
手動(dòng)和氣動(dòng)兩種形式均適合用標準閥門(mén)保護管帽。
出口端采用帶鏈條的管帽密封和保護。
閥門(mén)裝置包含提高安全性能的二次密封。
母體帶有“π”標記表示通過(guò)歐盟的TPED認證
技術(shù)說(shuō)明
工作壓力:230bar (3300psi)
適用氣體:工業(yè)和特種氣體(包括有毒氣體和腐蝕氣體和氧氣)
孔徑:4mm
CV值:0.3
工作溫度:-20至65°C
閥體泄漏率:1x10-9 mbar l/s (200bar He)
閥座泄漏率:小于1x10-8 mbar l/s (200bar He)
材料
母體:316L VAR stainless steel,Hastelloy C22,Monel,Nickel
閥座:PTCFE, Kynar 740, Vespel SP21 or Zytel 103 (Nylon)
膜片:Elgiloy
閥門(mén)氣體流道內無(wú)任何潤滑。閥座選用氣體相容性最小的材料。有關(guān)材料選擇方面的問(wèn)題請聯(lián)系我們。
執行器說(shuō)明
常閉設計的氣動(dòng)執行器通用于所有的鋼瓶閥。在驅動(dòng)氣源供氣時(shí)閥門(mén)打開(kāi),在彈簧的作用下閥門(mén)關(guān)閉。旋轉閥套可以將閥門(mén)鎖定在關(guān)閉位置。
驅動(dòng)壓力:5 to 8bar (70 to 120psi)
驅動(dòng)介質(zhì):空氣或氮氣
進(jìn)氣接口:1/8” NPT
結構材料:不銹鋼,鎳鋁青銅和高硬度陽(yáng)極化鋁合金
客服熱線(xiàn):



